Исследование распределения примеси при локальном диффузионном и ионном легировании полупроводников: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Урман, П. Н. |
| Опубликовано: | Горький , 1975 |
| Физические характеристики: |
20 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32616510000 | ||
| 005 | 20070716150552.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [75-28635а] |
| 100 | # | # | $a 20070716d1975 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование распределения примеси при локальном диффузионном и ионном легировании полупроводников $e (01.04.10) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук $f Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского |
| 210 | # | # | $a Горький $d 1975 |
| 215 | # | # | $a 20 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 19-20 |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Урман $b П. Н. $g Павла Никандровна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070716 $g psbo |