Исследование распределения примеси при локальном диффузионном и ионном легировании полупроводников: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Урман, П. Н. |
| Опубликовано: | Горький , 1975 |
| Физические характеристики: |
20 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||