Исследование закономерностей силицидообразования в имплантированных структурах металл-кремний: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07) / АН БССР, Ин-т физики твердого тела и полупроводников

Сохранено в:
Шифр документа: 173000/91,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Токарев, В. В.
Опубликовано: Мн. , 1991
Физические характеристики: 26 с.
Язык: Русский
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr32154460000
005 20240711115514.0
100 # # $a 20070704d1991 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
200 1 # $a Исследование закономерностей силицидообразования в имплантированных структурах металл-кремний  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.07)  $f АН БССР, Ин-т физики твердого тела и полупроводников 
210 # # $a Мн.  $d 1991 
215 # # $a 26 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 22-26 (41 назв.) 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Токарев  $b В. В.  $g Владимир Васильевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070704  $g psbo 
856 4 9 $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/173000_91.pdf