Исследование закономерностей силицидообразования в имплантированных структурах металл-кремний: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07) / АН БССР, Ин-т физики твердого тела и полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Токарев, В. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1991 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
| Е-документ: |
E-документ
|