|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr32104390000 |
| 005 |
20070704195445.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [78-24229]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070704d1977 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства
$e Учеб. пособие
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИРЭА
$d 1977
|
| 215 |
# |
# |
$a 116 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики. Список лит. в конце кн. (11 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002+621.382.049.77.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Тихонов
$b Ю. Н.
$g Юрий Николаевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070704
$g psbo
|
