Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства: Учеб. пособие
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тихонов, Ю. Н. |
| Опубликовано: | М. : МИРЭА , 1977 |
| Физические характеристики: |
116 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||