Конструирование профилей распределения примеси в имплантационных слоях

Сохранено в:
Шифр документа: ДХМ205582,
Вид документа: Книги
Автор: Титов, В. В.
Опубликовано: М. , 1982
Физические характеристики: 54 с. : черт.
Язык: Русский
Серия: Ин-т атом. энергии им. И. В. Курчатова ИАЭ-3594/11
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr32061890000
005 20070704194453.0
010 # # $d 50 к. 
021 # # $a RU  $b [82-62467] 
100 # # $a 20070704d1982 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Конструирование профилей распределения примеси в имплантационных слоях 
210 # # $a М.  $d 1982 
215 # # $a 54 с.  $c черт. 
225 2 # $a Ин-т атом. энергии им. И. В. Курчатова  $v ИАЭ-3594/11 
300 # # $a Библиогр.: с. 10 (5 назв.) 
345 # # $9 137 экз. 
610 0 # $a Ионы 
610 0 # $a Кремний 
675 # # $a 537.534 
700 # 1 $a Титов  $b В. В. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070704  $g psbo