Конструирование профилей распределения примеси в имплантационных слоях
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Титов, В. В. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
54 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Ин-т атом. энергии им. И. В. Курчатова
ИАЭ-3594/11 |
| Предмет: |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32061890000 | ||
| 005 | 20070704194453.0 | ||
| 010 | # | # | $d 50 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [82-62467] |
| 100 | # | # | $a 20070704d1982 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Конструирование профилей распределения примеси в имплантационных слоях |
| 210 | # | # | $a М. $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 54 с. $c черт. |
| 225 | 2 | # | $a Ин-т атом. энергии им. И. В. Курчатова $v ИАЭ-3594/11 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 10 (5 назв.) |
| 345 | # | # | $9 137 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Ионы |
| 610 | 0 | # | $a Кремний |
| 675 | # | # | $a 537.534 |
| 700 | # | 1 | $a Титов $b В. В. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070704 $g psbo |