Конструирование профилей распределения примеси в имплантационных слоях
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Титов, В. В. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
54 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Ин-т атом. энергии им. И. В. Курчатова
ИАЭ-3594/11 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||