Имплантационное легирование полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Титов, В. В. |
| Опубликовано: | М. , 1974 |
| Физические характеристики: |
40 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Ин-т атомной энергии им. И. В. Курчатова
ИАЭ-2444 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||