Исследование начальных стадий роста автоэпитаксиальных слоев кремния из молекулярного пучка в вакууме: (049): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. физ.-мат. наук / Моск. ин-т стали и сплавов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тажибаева, С. Д. |
| Опубликовано: | М. , 1969 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||