Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сысоев, В. В. |
| Опубликовано: | М. : Радио и связь , 1982 |
| Физические характеристики: |
119 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | Доступно Заказать | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||