Разработка затворных композиций МДП СБИС на основе SiO₂ и Si₃N₄: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сухоруков, Н. И. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1992 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||