|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr31681290000 |
| 005 |
20230818100336.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070629d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Синтез слоев SiO{н.инд.}(x)(O≤X≤2) осаждением из газовой фазы, содержащей SiH4 и N2O
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук
$e (02.00.04)
$f Сиб. отд-ние АН СССР, Ин-т химии твердого тела и переработки минерал. сырья
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 16-18 (10 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 02.00.04
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Сухов
$b М. С.
$g Михаил Серафимович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070629
$g psbo
|
