Синтез слоев SiO{н.инд.}(x)(O≤X≤2) осаждением из газовой фазы, содержащей SiH4 и N2O: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.04) / Сиб. отд-ние АН СССР, Ин-т химии твердого тела и переработки минерал. сырья
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сухов, М. С. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1989 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||