
Разработка нераспыляемых геттеров и создание высокопроизводительных средств вакуумной откачки на их основе для технологического и экспериментального физического оборудования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Столяров, В. Л. |
Опубликовано: | М. , 1989 |
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr31471290000 | ||
005 | 20070629162235.0 | ||
100 | # | # | $a 20070629d1989 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Разработка нераспыляемых геттеров и создание высокопроизводительных средств вакуумной откачки на их основе для технологического и экспериментального физического оборудования $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.07) $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
210 | # | # | $a М. $d 1989 |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (18 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.27.07 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Столяров $b В. Л. $g Владимир Леонидович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070629 $g psbo |