Разработка нераспыляемых геттеров и создание высокопроизводительных средств вакуумной откачки на их основе для технологического и экспериментального физического оборудования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Столяров, В. Л. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||