Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Стерлинг, Х. |
| Опубликовано: | М. : ЦНИИ техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1967 |
| Физические характеристики: |
8 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Пер. иностр. литературы. Серия "Технология и организация производства
Пер. № 18/ЭТ-1269 |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31443480000 | ||
| 005 | 20190221091349.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070629d1967 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом |
| 210 | # | # | $a М. $c ЦНИИ техн.-экон. исслед. и науч. информации $d 1967 |
| 215 | # | # | $a 8 с. |
| 225 | 2 | # | $a Пер. иностр. литературы. Серия "Технология и организация производства $f М-во электронной пром-сти СССР $v Пер. № 18/ЭТ-1269 |
| 300 | # | # | $a На обл. авт. не указаны |
| 675 | # | # | $a 621.382.002 |
| 700 | # | 1 | $a Стерлинг $b Х. |
| 701 | # | 1 | $a Сванн $b Р. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070629 $g psbo |