Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Стерлинг, Х. |
| Опубликовано: | М. : ЦНИИ техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1967 |
| Физические характеристики: |
8 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Пер. иностр. литературы. Серия "Технология и организация производства
Пер. № 18/ЭТ-1269 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||