Процесс импульсного некогерентного оптического отжига ионнолегированных слоев кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18) / Мин. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Стержанов, Н. И. |
| Опубликовано: | Мн. , 1983 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |