Влияние примесей PCl₃ и AsCl₃ на механизм роста автоэпитаксиальных пленок германия из газовой фазы: (01.04.18): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / АН СССР. Ин-т кристаллографии им. А. В. Шубникова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Степанова, А. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1973 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31423030000 | ||
| 005 | 20070629161329.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [73-27807а] |
| 100 | # | # | $a 20070629d1973 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Влияние примесей PCl₃ и AsCl₃ на механизм роста автоэпитаксиальных пленок германия из газовой фазы $e (01.04.18) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук $f АН СССР. Ин-т кристаллографии им. А. В. Шубникова |
| 210 | # | # | $a М. $d 1973 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 19-20 |
| 686 | # | # | $a 01.04.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Степанова $b А. Н. $g Алла Николаевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070629 $g psbo |