Влияние примесей PCl₃ и AsCl₃ на механизм роста автоэпитаксиальных пленок германия из газовой фазы: (01.04.18): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / АН СССР. Ин-т кристаллографии им. А. В. Шубникова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Степанова, А. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1973 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||