Исследование влияния термообработок при создании высоковольтных мощных быстродействующих транзисторов на характеристики кремния и разработка оптимизированной технологии производства: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.07) / АН СССР, Ин-т физики твердого тела
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Старков, В. В. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1984 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31346720000 | ||
| 005 | 20070628183443.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070628d1984 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование влияния термообработок при создании высоковольтных мощных быстродействующих транзисторов на характеристики кремния и разработка оптимизированной технологии производства $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (01.04.07) $f АН СССР, Ин-т физики твердого тела |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 22-23 (9 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Старков $b В. В. $g Виталий Васильевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070628 $g psbo |