Исследование влияния термообработок при создании высоковольтных мощных быстродействующих транзисторов на характеристики кремния и разработка оптимизированной технологии производства: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.07) / АН СССР, Ин-т физики твердого тела
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Старков, В. В. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1984 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||