Исследование технологических особенностей получения монокристаллических пленок кремния на сапфире при вакуумной эпитаксии: (05.12.11): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / АН УССР. Ин-т полупроводников
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Стадник, А. В. |
| Publié: | Киев , 1974 |
| Description matérielle: |
20 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||