Исследование технологических особенностей получения монокристаллических пленок кремния на сапфире при вакуумной эпитаксии: (05.12.11): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / АН УССР. Ин-т полупроводников
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Стадник, А. В. |
| Апублікавана: | Киев , 1974 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
20 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||