Исследование технологических особенностей получения монокристаллических пленок кремния на сапфире при вакуумной эпитаксии: (05.12.11): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / АН УССР. Ин-т полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Стадник, А. В. |
| Опубликовано: | Киев , 1974 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31312370000 | ||
| 005 | 20070621151053.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [74-18870а] |
| 100 | # | # | $a 20070621d1974 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование технологических особенностей получения монокристаллических пленок кремния на сапфире при вакуумной эпитаксии $e (05.12.11) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f АН УССР. Ин-т полупроводников |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1974 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 19-20 |
| 686 | # | # | $a 05.12.11 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Стадник $b А. В. $g Анатолий Владимирович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070621 $g psbo |