Исследование и разработка алгоритмов функционирования системы контроля технологических процессов производства интегральных схем: (05.11.16): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сорокин, Г. Ф. |
| Опубликовано: | Винница , 1982 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31225040000 | ||
| 005 | 20070621150305.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [82-11521а] |
| 100 | # | # | $a 20070621d1982 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка алгоритмов функционирования системы контроля технологических процессов производства интегральных схем $e (05.11.16) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук |
| 210 | # | # | $a Винница $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Винниц. политехн. ин-т. Библиогр.: с. 16-17 (8 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.11.16 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сорокин $b Г. Ф. $g Герман Федорович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070621 $g psbo |