Исследование и разработка алгоритмов функционирования системы контроля технологических процессов производства интегральных схем: (05.11.16): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сорокин, Г. Ф. |
| Опубликовано: | Винница , 1982 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||