Исследование и разработка алгоритмов функционирования системы контроля технологических процессов производства интегральных схем: (05.11.16): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Сорокин, Г. Ф. |
| Published: | Винница , 1982 |
| Physical Description: |
17 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||