Определение геометрических и электрофизических параметров полупроводниковых гетероструктур методами растровой электронной микроскопии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АНСССР, физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Соловьев, В. А. |
| Опубликовано: | Л. , 1991 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||