Синтез и исследование свойств стеклокристаллических материалов в системе SiO₂-Al₂O-ZnO-BaO для изоляции кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.17.11)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Солинова, А. Д. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||