Пути снижения уровня макронапряжений в диэлектрических пленках SiO2 и Al2O3, полученных ВЧ ионно-плазменным распылением и их применение в микроэлектронных устройствах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.10) / Моск. ин-т стали и сплавов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Собакин, К. М. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31016630000 | ||
| 005 | 20220126113352.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070619d1985 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Пути снижения уровня макронапряжений в диэлектрических пленках SiO2 и Al2O3, полученных ВЧ ионно-плазменным распылением и их применение в микроэлектронных устройствах $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (01.04.10) $f Моск. ин-т стали и сплавов |
| 210 | # | # | $a М. $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Собакин $b К. М. $g Константин Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070619 $g psbo |