Пути снижения уровня макронапряжений в диэлектрических пленках SiO2 и Al2O3, полученных ВЧ ионно-плазменным распылением и их применение в микроэлектронных устройствах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.10) / Моск. ин-т стали и сплавов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Собакин, К. М. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||