Особенности поведения примесей в кремнии при их введении ионной имплантацией и последующем отжиге: Автореф. дис. на соиск. учен. сте-пени канд. техн. наук: (01.04.10)
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Смирнова, Н. Б. |
| Veröffentlicht: | М. , 1978 |
| Beschreibung: |
27 с.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||