Повышение коррозионной стойкости тонкопленочной алюминиевой металлизации в интегральных микросхемах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / АН БССР, Ин-т электроники
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Сидорцов, Л. Н. |
Опубликовано: | Мн. , 1989 |
Физические характеристики: |
18 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|