Теоретическое и экспериментальное изучение процессов легирования полупроводниковых пленок примесями в газотранспортном методе выращивания: (046): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. физ.-мат. наук / АМ СССР. Сиб. отд-ние. Совет общей и прикл. физики Объедин. учен. совета по физ.-мат. и техн. наукам
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сидорова, А. В. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1971 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||