Разработка и исследование лазерного анализатора для контроля органических примесей в жидких технологических средах микроэлектроники: (05.27.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Моск. ин-т элеткрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сивоволов, В. А. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30584790000 | ||
| 005 | 20070615122039.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [90-24895а] |
| 100 | # | # | $a 20070615d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование лазерного анализатора для контроля органических примесей в жидких технологических средах микроэлектроники $e (05.27.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $f Моск. ин-т элеткрон. техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 17-19 (11 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.27.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сивоволов $b В. А. $g Владимир Алексеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070615 $g psbo |