Разработка и исследование лазерного анализатора для контроля органических примесей в жидких технологических средах микроэлектроники: (05.27.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Моск. ин-т элеткрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сивоволов, В. А. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||