Формирование пленочных силицидных систем на основе поликристаллического и аморфного кремния методом импульсной фотонной обработки: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сивак, В. М. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1992 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30580250000 | ||
| 005 | 20070615121407.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070615d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Формирование пленочных силицидных систем на основе поликристаллического и аморфного кремния методом импульсной фотонной обработки $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.06) $f Воронеж. политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 17 (6 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сивак $b В. М. $g Виктор Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070615 $g psbo |