Формирование пленочных силицидных систем на основе поликристаллического и аморфного кремния методом импульсной фотонной обработки: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сивак, В. М. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1992 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||