Основы технологии жидкофазной эпитаксии кремния в поле температурного градиента на подложках повышенного диаметра: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калмыкова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Середин, Б. М. |
| Опубликовано: | Таганрог , 1990 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30550080000 | ||
| 005 | 20070615121148.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070615d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Основы технологии жидкофазной эпитаксии кремния в поле температурного градиента на подложках повышенного диаметра $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калмыкова |
| 210 | # | # | $a Таганрог $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 18-19 (14 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Середин $b Б. М. $g Борис Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070615 $g psbo |