Основы технологии жидкофазной эпитаксии кремния в поле температурного градиента на подложках повышенного диаметра: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калмыкова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Середин, Б. М. |
| Опубликовано: | Таганрог , 1990 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||