Разработка эффективных способов получения и физико-химические исследования тонких пленок оксида алюминия и элементоорганических диэлектриков с целью использования их в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Науч.-произв. об-ние "Фонон"
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сенатова, Н. А. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||