Изготовление и свойства тонких пленок Si3N4, полученных с помощью реакции в условиях ВЧ-тлеющего разряда
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Свон, Р. |
| Опубликовано: | М. , 1967 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Переводы иностр. литературы. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
Пер. № 101/ЭТ-2705 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||