|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr30298800000 |
| 005 |
20070612191618.0 |
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-152а]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070612d1987 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Теоретическое исследование и моделирование процессов электронной и рентгеновской литографий
$e (05.27.01)
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$f АН СССР, Ин-т пробл. технологии, микроэлектроники и особочистых материалов
|
| 210 |
# |
# |
$a Черноголовка
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 17 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 16-17 (6 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Свинцов
$b А. А.
$g Александр Александрович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070612
$g psbo
|
