Теоретическое исследование и моделирование процессов электронной и рентгеновской литографий: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Ин-т пробл. технологии, микроэлектроники и особочистых материалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Свинцов, А. А. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1987 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||