Исследование свойств металлических и окисных пленок, полученных прямоточным магнетронным распылением
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Свахин, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
32 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
№ 209 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||