Исследование свойств металлических и окисных пленок, полученных прямоточным магнетронным распылением
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Свахин, А. С. |
| Published: | М. , 1985 |
| Physical Description: |
32 с. : рис.
|
| Language: | Russian |
| Series: |
Препр.
№ 209 |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||