Исследование свойств металлических и окисных пленок, полученных прямоточным магнетронным распылением
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Свахин, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
32 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
№ 209 |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30276010000 | ||
| 005 | 20160523094848.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [86-15335] |
| 100 | # | # | $a 20070612d1985 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование свойств металлических и окисных пленок, полученных прямоточным магнетронным распылением |
| 210 | # | # | $a М. $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 32 с. $c рис. |
| 225 | 2 | # | $a Препр. $f АН СССР. Ин-т общ. физики. Лаб. колебаний $v № 209 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: 18-19 (18 назв.) |
| 345 | # | # | $9 100 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Пленки тонкие |
| 675 | # | # | $a 539.231 |
| 700 | # | 1 | $a Свахин $b А. С. |
| 701 | # | 1 | $a Сычугов $b В. А. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070612 $g psbo |