Разработка и исследование принципов построения систем обработки топологической информации и формирования фотошаблонов ЦМД-микросхем: (05.13.13 ; 05.13.12): Автореф. дис. на соиск. учен. стен. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сагитов, К. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29989140000 | ||
| 005 | 20070614124003.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [84-12864а] |
| 100 | # | # | $a 20070614d1984 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование принципов построения систем обработки топологической информации и формирования фотошаблонов ЦМД-микросхем $e (05.13.13 ; 05.13.12) $e Автореф. дис. на соиск. учен. стен. канд. техн. наук |
| 210 | # | # | $a М. $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т радиотехники, электрон. и автоматики. Библиогр.: с. 23-24 (11 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.13.13 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 05.13.12 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сагитов $b К. $g Кадус |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070614 $g psbo |