Разработка и исследование принципов построения систем обработки топологической информации и формирования фотошаблонов ЦМД-микросхем: (05.13.13 ; 05.13.12): Автореф. дис. на соиск. учен. стен. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сагитов, К. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||